中国晶圆厂囤积ASML浸没式光刻机

2026年10月2日，南华早报报道称，中国晶圆厂近年囤积了价值数十亿美元的ASML浸没式光刻设备。报道援引美国前官员说法，并引述华盛顿研究机构CTS于2026年9月下旬发布的报告，该报告估计截至2026年初，中资晶圆厂已获得约343台浸没式DUV光刻系统。报告共同作者呼吁美国和盟友进一步切断相关出口。目前事件仍处于研究机构报告与美方人士呼吁阶段，尚未见相关出口管制措施正式落地。

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