上观：中国极紫外光源样机国产化率达90% 距离量产还需3—5年

上观新闻消息，朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会展出极紫外（EUV）光源系统样机，国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。现场工作人员称，该样机距离量产还需3—5年。