国产EUV光源样机亮相 国产化率90%

2026年10月14日，上观新闻报道，朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会展出极紫外（EUV）光源系统样机。报道称该样机国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。现场工作人员表示，该样机距离量产还需3—5年。这是该事件目前唯一可查的报道，尚无后续进展或与之矛盾的说法。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。